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常規(guī)真空系統(tǒng)材料選擇
簡(jiǎn)單說(shuō),真空系統(tǒng)中的真空室以及管路所用的材料都可以稱之為殼體材料,而各種靜密封、動(dòng)密封材料可以統(tǒng)稱為密封材料。而無(wú)論是殼體材料還是密封材料,選擇的依據(jù)主要是真空裝置的真空度以及被抽介質(zhì)的腐蝕性。
真空管路的粗抽管道及前級(jí)管道一般選擇無(wú)縫鋼管管,而高真空管道材料與真空室殼體的材料保持一致。
一般常見(jiàn)情況下,超高真空裝置中,殼體材料必須用不銹鋼,而密封材料則選擇金屬密封。
高真空裝置,殼體材料可以是不銹鋼材料或者是碳鋼材料,主要考慮生產(chǎn)工藝過(guò)程的氣體是否有腐蝕性,根據(jù)實(shí)際情況選用不銹鋼或者碳鋼鍍鎳以及其他涂層工藝,而密封材料一般是常見(jiàn)的橡膠密封。
而低真空裝置選擇材料主要考慮的就是被抽氣體是否有腐蝕性的問(wèn)題。
這些就是真空系統(tǒng)材料選擇中粗略的判斷,至于其他的像玻璃、銅及各式各樣的合金材料等,更多的是在具體的細(xì)節(jié)配置上使用,還有一些有具體要求的特殊真空工藝環(huán)境中,那就需要進(jìn)一步因地制宜,綜合考慮了。
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