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昆山超高潔凈管

  • 所屬分類:昆山真空半導體

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  • 發(fā)布日期:2022/03/16
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高效過濾器必須是以0.1μm塵粒為標準的才能實現(xiàn)超高潔凈度。此外,這種方式由于被凈化的是管道中的空氣,送、回風量很小,可以大幅度地節(jié)約能量,是潔凈技術的發(fā)展方向,也被稱為第四代凈化方式。

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