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張家港超高潔凈管道

  • 所屬分類：張家港真空半導(dǎo)體

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  • 發(fā)布日期：2022/03/16
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詳細(xì)介紹

高效過濾器必須是以0.1μm塵粒為標(biāo)準(zhǔn)的才能實現(xiàn)超高潔凈度。此外，這種方式由于被凈化的是管道中的空氣，送、回風(fēng)量很小，可以大幅度地節(jié)約能量，是潔凈技術(shù)的發(fā)展方向，也被稱為第四代凈化方式。

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