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真空系統(tǒng)的簡(jiǎn)單介紹及部分名詞
真空系統(tǒng)其實(shí)就是真空機(jī)組的一個(gè)類似的稱呼,真空機(jī)組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環(huán)真空設(shè)備,它不見(jiàn)得有一些諸如散熱器,冷凝器等等設(shè)備存在。而一般能稱為真空系統(tǒng)的肯定是各種零部件齊全。真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多,但無(wú)論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng),以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例來(lái)說(shuō):一個(gè)真空處理用的容器,用管道和閥門(mén)將它與真空泵連接起來(lái),當(dāng)真空泵對(duì)容器進(jìn)行抽空時(shí),容器上要有真空測(cè)量裝置,這就構(gòu)成了一個(gè)簡(jiǎn)單的真空抽氣系統(tǒng)。那么真空系統(tǒng)相比較于機(jī)組來(lái)說(shuō)有多少泵組成呢?這個(gè)是不確定的,我們先來(lái)認(rèn)識(shí)一下可能存在的泵的名詞解釋。
(1)主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來(lái)滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。
(2)前級(jí)泵:用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。
(3)粗抽泵:從大氣壓下開(kāi)始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵。
(4)維持泵:在真空系統(tǒng)中,氣量很小時(shí),不能有效地利用前級(jí)泵。真空腔體及零組件為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵,就是維持泵。
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